關于硅片制作的過程

硅片制作分為七步驟。

1、 硅棒粘接：用粘接劑對硅棒和碳板進行粘接，以利于牢固的固定在切割機上和方位角的確定。

2、 切片：主要利用內圓切割機或線切割機進行切割，以獲得達到其加工要求的厚度，X、Y方向角，曲翹度的薄硅片。

3、 面方位測定：利用X射線光機對所加工出的硅片或線切割前要加工的硅棒測定其X、Y方位角，以保證所加工的硅片的X、Y方位角符合產品加工要求。

4、 倒角前清洗：主要利用熱堿溶液和超聲波對已切成的硅片進行表面清洗，以去除硅片表面的粘接劑、有機物和硅粉等。

5、 倒角：用不同的砥石形狀和粒度來加工出符合加工要求的倒角幅值、倒角角度等，以減少后續加工過程中可能產生的崩邊、晶格缺陷、處延生長和涂膠工藝中所造成的表面層的厚度不均勻分布。

6、 厚度分類：為后續的磨片加工工藝提供厚度相對均勻的硅片分類，防止磨片中的厚度不均勻所造成的碎片等。

7、 磨片：去除切片過程中所產生的切痕和表面損傷。