離子注入的具體原理是什么
離子注入的具體原理是什么
離子注入的具體原理是將所注入的氣體離子化成為帶正電荷的離子束。對(duì)離子束用磁場(chǎng)進(jìn)行篩選后，得到所需要的注入離子，再加速撞擊到注入表面，達(dá)到注入離子的目的。在這過(guò)程中，需要控制好真空度，一般需要超高真空。另外，需要控制好加速能量和注入角度，以控制注入的深淺程度。整個(gè)系統(tǒng)需要有精確的電流測(cè)量和計(jì)算，精密的機(jī)械運(yùn)動(dòng)控制。因此，離子注入系統(tǒng)是集機(jī)械，真空，電子測(cè)量，計(jì)算機(jī)控制，高速數(shù)據(jù)采集和通訊等一體的復(fù)雜精密控制系統(tǒng)。
導(dǎo)讀離子注入的具體原理是將所注入的氣體離子化成為帶正電荷的離子束。對(duì)離子束用磁場(chǎng)進(jìn)行篩選后，得到所需要的注入離子，再加速撞擊到注入表面，達(dá)到注入離子的目的。在這過(guò)程中，需要控制好真空度，一般需要超高真空。另外，需要控制好加速能量和注入角度，以控制注入的深淺程度。整個(gè)系統(tǒng)需要有精確的電流測(cè)量和計(jì)算，精密的機(jī)械運(yùn)動(dòng)控制。因此，離子注入系統(tǒng)是集機(jī)械，真空，電子測(cè)量，計(jì)算機(jī)控制，高速數(shù)據(jù)采集和通訊等一體的復(fù)雜精密控制系統(tǒng)。
離子注入的具體原理是將所注入的氣體離子化成為帶正電荷的離子束。對(duì)離子束用磁場(chǎng)進(jìn)行篩選后，得到所需要的注入離子，再加速撞擊到注入表面，達(dá)到注入離子的目的。在這過(guò)程中，需要控制好真空度，一般需要超高真空。另外，需要控制好加速能量和注入角度，以控制注入的深淺程度。整個(gè)系統(tǒng)需要有精確的電流測(cè)量和計(jì)算，精密的機(jī)械運(yùn)動(dòng)控制。因此，離子注入系統(tǒng)是集機(jī)械，真空，電子測(cè)量，計(jì)算機(jī)控制，高速數(shù)據(jù)采集和通訊等一體的復(fù)雜精密控制系統(tǒng)。
離子注入的具體原理是什么
離子注入的具體原理是將所注入的氣體離子化成為帶正電荷的離子束。對(duì)離子束用磁場(chǎng)進(jìn)行篩選后，得到所需要的注入離子，再加速撞擊到注入表面，達(dá)到注入離子的目的。在這過(guò)程中，需要控制好真空度，一般需要超高真空。另外，需要控制好加速能量和注入角度，以控制注入的深淺程度。整個(gè)系統(tǒng)需要有精確的電流測(cè)量和計(jì)算，精密的機(jī)械運(yùn)動(dòng)控制。因此，離子注入系統(tǒng)是集機(jī)械，真空，電子測(cè)量，計(jì)算機(jī)控制，高速數(shù)據(jù)采集和通訊等一體的復(fù)雜精密控制系統(tǒng)。
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