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SiH4中的si是負四價。
1、硅烷作為一種提供硅組分的氣體源,可用于制造高純度多晶硅、單晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、異質硅、各種金屬硅化物。
2、因其高純度和能實現精細控制,已成為許多其他硅源無法取代的重要特種氣體。
3、硅烷廣泛應用于微電子、光電子工業, 用于制造太陽電池、平板顯示器、玻璃和鋼鐵鍍層, 并且是迄今世界上唯一的大規模生產粒狀高純度硅的中間產物。
4、硅烷的高科技應用還在不斷出現, 包括用于制造先進陶瓷、復合材料、
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