1、真空泵或真空機組的性能、選型出現問題：采用靜態升壓法，真空系統將被測空間抽至極限壓力后，密封隔離，如果被測空間長時間一直保持在該極限壓力不變，可以確定為是真空系統的工作性能達不到要求導致。需要從真空泵或者真空機組的選型性能以及是否有故障角度。2、真空系統存在嚴重放氣：如果在靜態升壓法測試中，被測空間在被抽至極限壓力后并封閉隔離后，壓力一開始上升較快，到一定程度后開始放緩并最終趨于穩定狀態，可以判定真空系統中存在放氣源，可能是結構材料或是某種蒸氣源，需要通過材料結構以及真空衛生角度去解決。3、真空系統容器壁或其他間隙存在漏氣：如果被測空間在測試中，出現壓力穩定直線上升的情況，可以判定為真空系統存在漏氣，需要通過檢漏尋找漏源進行維修。